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インクジェット法
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インクジェット法
インクジェット法
半導体製法
成膜方法
インクジェット法は、微小液滴を指定位置に滴下していく技術で、滴下した液同士を接するように配置することで、薄膜面を作製することができる。各箇所に滴下される液滴量のバラツキが小さく、滴下範囲は任意に大きくできるため、厚みの均一な大型薄膜面が作製可能である。薄膜面の厚みは、滴下する液滴サイズ、着滴間隔に依存する。
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