エネルギー分散型X線分析（EDX、EDS）は、広義の意味として、電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線（蛍光X線）を半導体検出器に導入し、発生した電子-正孔対のエネルギーと個数から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である。一般的に、電子線を一次線として用いた場合を指すことが多く、X線を一次線として用いる場合をエネルギー分散型蛍光X線分析 (ED-XRF) と呼ぶ。有機ELなどの有機エレクトロニクスデバイスにおいては、深さ方向の元素濃度を測定することで、層間の侵入長や元素の拡散長などを評価することができる。