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クヌーセンの式
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クヌーセンの式
クヌーセンの式
半導体製法
成膜方法
一定温度、一定圧力のもとで、単位時間当たりに管のある点を通過する気体の質量qは次式で与えられる。q=√(2πρ)xd3(p1-p2)/6L ここで、(p1-p2)/L は管の長さLに沿っての圧力勾配、dは管の直径、ρは与えられた温度および単位圧力における気体の密度である。
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