クヌーセンセル(Knudsen cell)
クヌーセンセル(Knudsen cell)
半導体製法
成膜方法
クヌーセンセルは、比較的分圧の低い元素ソースの蒸着源として結晶成長学の分野でよく用いられる。ルツボ内の原料をヒーターによって加熱・蒸発させることで、基板に分子線エピタキシー(Molecular Beam Epitaxy : MBE)蒸着させるための分子線セルである。例として、ガリウム、アルミニウム、水銀、ヒ素などがある。典型的なクヌーセンセルは、るつぼ(熱分解窒化ホウ素、石英、タングステン、グラファイトなどでできている)、加熱フィラメント(タングステンやタンタル製のことが多い)、冷却水装置、熱シールド、開口部シャッターからなっている。この方法は蒸発温度制御が容易であるため、分子線エピタキシーでは一般的に使われている。