クライオポンプは、ため込み式真空ポンプの一つである。真空容器内に極低温面を設置することで、その表面に残留気体を凝縮させ捕捉する。真空容器内で動作する装置が無く、また油を用いないオイルフリー（ドライポンプ）であるため、クリーンな真空が得られる。動作範囲は、10 - 10-8 Paと広い。