ナノコーティング

半導体製法
成膜方法
ナノコーティングとは、ナノテクノロジを用いて作製する、膜厚nmオーダーで特長を発揮する分子構造(単分子~数分子の分子膜)を用いた被膜技術のこと。 例えば、光触媒機能をもつ酸化チタン、親水性を発揮するシリカ、疎水性をもつフッ素樹脂、帯電防止、遮熱など、ナノレベルでの制御により多様な機能のコーティングが開発されている。

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