パッシベーションとは不活性化すること。半導体では、素子の表面に不動態膜をコートして、外気の影響やごみの付着を防ぐことをパッシベーションと呼んでいる。太陽電池に限らず、半導体結晶の表面を空気中に曝したままにすることは通常は行わない。結晶の表面上には SiO2 などの絶縁膜を着けるのが普通で、これによって半導体結晶表面の欠陥を減らせることが知られている。表面の欠陥が減るとキャリアの再結合も少なくなる。