ヘテロ接合とは物性の異なる材料同士の接合のことを言い、ヘテロ接合を用いたシリコン系太陽電池にHIT太陽電池がある。HIT太陽電池は、n型単結晶シリコン半導体の両面にアモルファスシリコン半導体が形成された構造をとり、代表的なものに、ｐ型アモルファスシリコン/ｉ型アモルファスシリコン/ｎ型単結晶シリコン/ｉ型アモルファスシリコン/ｎ型アモルファスシリコンの各層が重なった構造がある。単結晶シリコン太陽電池と比較して変換効率が高く、また、薄膜化されたアモルファスシリコン層を用いるため、結晶シリコン層の使用量を減らすことができる。一方、単結晶シリコン太陽電池よりも製造工程が複雑なためコストは高い。