リニアソース蒸着源

リニアソース蒸着源

半導体製法
成膜方法
真空蒸着において、蒸着源を線状に並べた方式をリニアソース蒸着源という。例えば、薄い長方形の坩堝に複数のノズルを並べて配置した後、熱を加えて有機物を蒸発させて、天板の基板に成膜する。リニアソース方式は、基板１枚を蒸着するのにソースの位置を複数回移動させて行う。

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