中間流

中間流

半導体製法
成膜方法
クヌッセン数 Kn（＝λ/L，λ：平均自由行程，L：代表長さ）が 0.1～10 の希薄流を中間流といい、すべり流（Kn＜0.1）と自由分子流（Kn＞10）の中間に位置する。

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