ある薄膜デバイスの内部に生じる電界のことを指す。対義語として、電源を用いて外部から印加する外部電界が挙げられる。シリコン系太陽電池の内部電界は次のようにして生じる。ｎ型シリコンとｐ型シリコンの接合部において、ｎ型半導体からｐ型半導体へ伝導電子が流れてｐ型の正孔を打ち消すと、電子が流れた後のｎ型半導体はプラスに、余分に電子を得たｐ型半導体はマイナスに帯電することで接合部分に電界が生じる。一方、有機EL素子の内部電界は、電極から注入された正孔が、正孔輸送層と発光層の界面に蓄積することで形成されると考えられている。