原子間力顕微鏡(AFM)
原子間力顕微鏡(AFM)
評価・解析方法
薄膜評価法
原子間力顕微鏡(AFM)は、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の一種であり、試料の表面と探針の原子間に働く力を検出して画像を得る。走査型トンネル顕微鏡 (STM) とは異なり、絶縁性試料の測定も可能である。また、電子線を利用する走査型電子顕微鏡 (SEM) のように、導電性コーティングなどの前処理や装置内に真空を必要とする事もない。このため、大気中や液体中、または高温~低温など様々な環境で、生体試料などを自然に近い状態で測定できる。他の走査型プローブ顕微鏡と同様に空間分解能は探針の先端半径(nm程度)に依存し、現在では、原子レベルの分解能が実現されている。有機ELや有機太陽電池においては、電極や有機膜の表面の凹凸状態を確認する等の目的に用いられる。