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奥本研究所
大気中光電子収量分光法 (PYSA)
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大気中光電子収量分光法 (PYSA)
大気中光電子収量分光法 (PYSA)
評価・解析方法
半導体評価方法
光電子収量分光において、外部光電子を空気中で酸素に捕獲させてオープンカウンターで計測する方法。大気中で測定できるのでUPSよりも簡便である。
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