平均自由行程

半導体製法
成膜方法
平均自由行程とは、物理学や化学のうち、気体分子運動論において、分子や電子などの粒子が、散乱源による散乱で妨害されること無く進むことのできる距離の平均値のことを言う。粒子が平均自由行程だけ運動すると、他の粒子と平均して1回衝突する。 平均自由行程は、その系の特性や粒子により異なってくる。

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