微結晶シリコン型太陽電池とは、結晶シリコン型と薄膜型の中間の性質を持つ太陽電池。50～100μm程度の微細なシリコン結晶を、薄膜型太陽電池の製造法と同じ方法で、ガラス基板に蒸着させる。微結晶シリコンは、主としてシリコンと水素原子から構成される太陽電池材料で、非常に微細なシリコンの結晶子がアモルファス（非晶質）シリコン層に囲まれた複合的な構造をもつ。光学的特性は完全な結晶体からなるバルクの結晶シリコンとほぼ同じで、可視域～近赤外域で発電できる太陽電池材料である。アモルファスシリコンと同様にプラズマ援用化学気相堆積法でメートルサイズの大面積に一括製膜できる。なおアモルファスシリコンは光照射によって性能が劣化することが知られているが、微結晶シリコンはほとんど光劣化を示さない。