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奥本研究所
暗注入法
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暗注入法
暗注入法
評価・解析方法
半導体評価方法
キャリアのドリフト移動度を計測する方法の一つで、試料としてオーミックな電極と対向電極からなるサンドイッチ状のものを用い、試料にステップ電圧を印加して過渡電流を測定する方法である。走行時間を測定する点ではTOF法と同様である。ステップ電圧の代わりに、三角波電圧を印加する方法もある。
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