バリア性とは、気体や水分や溶剤などを遮断する特性である。有機EL素子に必要な水のバリア性（透過性）は、一般に10-5g/m2・day(25℃)のオーダー以下であると考えられている。一般のPETフィルムやプラズマCVD(PECVD)により作製した無機膜などに比べるとはるかに高いバリア性が必要である。