紫外光電子分光法(UPS)

紫外光電子分光法(UPS)

評価・解析方法
半導体評価方法
紫外光電子分光法は、原子価領域の分子軌道エネルギーを決定するために用いられる分析法。紫外線を吸収した分子によって放出される光電子の運動エネルギースペクトルを測定する。光は固体内部まで進入するため、表面数層の領域の価電子状態を調べることができる。各種材料の仕事関数評価にも用いられる。

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