表面パッシベーション
表面パッシベーション
半導体素子
太陽電池
結晶シリコン太陽電池の変換効率を向上させるには、1)光の吸収量を増やすこと、2)光吸収により生成された少数キャリアの多くを発電に寄与させること、が必要である。1)関しては、受光面側の電極を排することなどでより多くの光を吸収することが可能となる。2)に関しては、結晶の高品質化と並んで結晶表面の不活性化が重要である。結晶の表面は少数キャリアとの再結合が起こりうる。光吸収により生成した少数キャリアが再結合するとそれらは発電に寄与しない。表面の不活性化に用いられるのがパッシベーションと呼ばれる技術である。不活性化の基本的な考え方は、結晶表面に存在する未結合手を終端することである。