走査型電子顕微鏡（SEM）は電子顕微鏡の一種であり、電子線を照射することで放出される二次電子・反射電子・X線などを検出し、試料の表面を観察する。透過型電子顕微鏡（TEM）が試料全体に電子線を照射するのに対し、SEMは細く直線的な電子線の軸を少しずつずらしながら照射して試料の表面を網羅的に走査（スキャン）し、表面全体の詳細な情報を得る。電子線の照射によって試料から放出される二次電子やX線などは全て信号として検出され、照射した電子線の座標などの情報と組み合わされた後、画像として可視化される。光学顕微鏡に比べ、焦点深度が100倍以上深く、広範囲にわたり立体的な像を得ることができる。有機ELや有機系太陽電池では、素子の断面構造の解析などに用いられる。