インピーダンス分光（IS）法は微小正弦波電圧を電子デバイスに印加し、その応答電流の振幅と位相からインピーダンスを算出し、印加電圧の周波数の関数としてインピーダンススペクトルを得る測定法である。測定対象デバイスの静電容量、コンダクタンスの周波数特性は、低周波域から高周波域に向かって、静電容量は増加し、コンダクタンスは減少する。これは、微小交流電圧の印加により注入されたキャリアによる空間電荷が印加電圧に完全には追従できず、電流に位相遅れが生じるからである。高周波域においては、注入キャリアは交流電界に追従できず、1/2 周期の間に対向電極に到達することができないため、幾何容量が測定される。コンダクタンスに関しても、同様の理由により変化が生じる。これを走行時間効果と呼ぶ。