クヌーセン(クヌッセン)(Knudsen)数
クヌーセン(クヌッセン)(Knudsen)数
半導体製法
成膜方法
一つの分子が周囲の分子と衝突せずに自由に飛行できる平均の距離を平均自由行程といいλで表す。物体の代表長さをLとすると、クヌッセン数Knはλ/Lで定義される。Knが 0.01 以下なら流れを連続体とみなすことができる。Knが 0.01 以上なら流れを希薄気体として扱わなければならない。P、T、μを気体の圧力、絶対温度、粘度とすると、λ=(μ/p)√(πRT/2) となる。ここに、Rは単位質量当たりの気体定数である。したがって、クヌッセン数は圧力に反比例して増大する。Knが 0.01 以上の流れはボルツマン方程式に支配される。
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