ターボ分子ポンプ

半導体製法

成膜方法

						ターボ分子ポンプは機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持ったロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことにより排気するポンプである。JISではこのような排気方式を「運動量輸送式」の真空ポンプと呼んでいる。					

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