ノズルプリンティング法

ノズルプリンティング法

半導体製法
パターニング方法
ノズルプリンティング法は、インクジェット法と同様にノズルからインキを吐出し塗布する方式である。インクジェット法と異なる点は、ピクセル毎のインキ吐出をON/OFF せず、連続的に吐出させたまま塗布する。この場合、隔壁はストライプ状に形成しておく、インキ吐出を連続して行うため、インクジェット法での欠点であるピクセル毎の膜厚バラツキは改善される。但し、インキがパターン形成領域以外も連続吐出するため、塗布後に周辺部のインキを除去する工程が必要となる。

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