外部からの品質低下を招く要因を遮断する働きをバリア性という。有機EL素子に必要な水のバリア性は、一般に10-6 g/m2･day（25℃）のオーダー以下であると考えられている。一般のPETフィルム（1 g/m2･dayオーダー）やプラズマCVD（PECVD）により作製した無機膜（10-3 g/m2･dayオーダー）などに比べてはるかに高いバリア性が必要であり、無機積層膜や、ALD法による欠陥被覆などの手法で所望のバリア性を確保する。