マイクロコンタクトプリント(mCP)法

マイクロコンタクトプリント(mCP)法

半導体製法
パターニング方法
マイクロコンタクトプリント(mCP)法は、ソフトリソグラフィーと呼ばれるナノ構造構築法のひとつである。 ソフトリソグラフィーの由来であるスタンプは、従来法の光リソグラフィーや電子線リソグラフィーによって作製したマイクロメートルの構造の形状パターン(マスター)を、ゴム状プラスチックスに写し取り作製する。マイクロコンタクトプリント法は、このスタンプ凸部表面に分子を塗布し基板に密着(コンタクト)することで、パターン化した分子の膜を基板上に作製する方法である。このスタンプの使用により、マイクロパターンを安価で簡便にコピーすることができる。この際、分子と基板表面との化学反応を利用することにより、安定した単分子厚さの膜(自己組織化膜:SAM)を基板上にパターン化することができる。例えば、チオール分子と金表面(S原子-Au)、シラン分子と酸化物、つまりOH-を持つ絶縁体表面(Si原子-O-)の組み合わせが利用されている。

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