全反射測定法（ATR）は、試料表面で全反射する赤外光を測定することによって試料表面の吸収スペクトルを得る方法である。赤外領域に透明な高屈折率媒質（プリズム）に試料を密着させ、プリズムから試料内部にわずかにもぐり込んで反射する全反射光を測定すると、試料表層部の吸収スペクトルが得るられる。このとき赤外光は試料表面から数μm程度の比較的深い領域までもぐり込み、その深さは，空気中での赤外光の波長、入射角、プリズムの屈折率、試料の屈折率に依存する。ATR法によるFT－IRスペクトルは、透過法によるFT－IRスペクトルと比較し、低波数側の吸収が強く現れる。