内部量子効率(ηφ(int))は、有機ELにおいては、発光性能を示す重要な指標であり、ηφ(ext) ＝ (発生したフォトン数) / (素子に注入したキャリア数) ｘ 100で定義される。また、太陽電池においては、電流密度（単位時間、単位面積を流れる電荷量）を単位時間、単位面積に素子に吸収された光の量（光子の流れの密度）で割った値であり、「一個の光子が吸収された際、素子から取り出される電子の数」とも定義され、内部量子効率＝電荷生成効率×電荷輸送効率の関係がある。