時間分解マイクロ波伝導度測定法
時間分解マイクロ波伝導度測定法
評価・解析方法
半導体評価方法
光パルスを材料に照射すると電荷が生じ、その電荷がマイクロ波と相互作用してマイクロ波のエネルギーが減衰する。その量から、電荷の時間挙動や電荷キャリアの局所的な移動度がナノスケールで評価できる。
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