真空蒸着時の膜厚の測定には、真空下で使用でき、オングストロームオーダーの膜厚計測が可能な水晶振動子式膜厚計が用いられる。水晶振動子の固有振動数は非常に安定で、交流電場を印加すると、水晶振動子の固有振動数と交流電場の振動数が等しくなったところで共振現象が起こる。この水晶振動子表面に物質が蒸着すると、水晶振動子の固有振動数は低い方向へ変化する。この変化量は蒸着物質の質量に比例するので、共振周波数の変化を精度よく検出し、蒸着物の付着質量を膜厚に換算すれば膜厚が測定できることになる。