溶液プロセス
溶液プロセス
半導体製法
成膜方法
有機 EL などの有機デバイスは、通常、数 nm ~ 数十 nm の有機半導体膜を積層して作製される。その薄膜の作製方法は真空プロセスを用いる方法と溶液プロセスを用いる方法に大きくわけられる。一般に、真空プロセスとしては蒸着法、溶液プロセスとしてはインクジェット法やスピンコート法といった溶液塗布法が用いられる。
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