熱刺激電流法（TSC法）は、薄膜・粉末試料を冷却した後に、加熱した際に生じる電流を測定することで、試料内の基礎物性を評価する熱分析手法の一種である。例えば、電荷トラップの評価はトラップ電荷の空間分布やトラップ準位の起源、バンドテイル構造などを調べることができるため、太陽電池やトランジスタなどの半導体デバイス解析に応用されている。