薄膜の膜厚を評価するための装置。先の尖った針で表面をなぞっていき、薄膜が存在する部分と存在しない部分の段差を測定する。水平方向にはmm単位でスキャンでき、垂直方向（膜厚方向）にはオングストロームオーダーの分解能を持つ。有機薄膜デバイスの有機層の膜厚は、通常、数十～数百nm程度と薄いが、触針式膜厚計で測定が可能である。