逆光電子分光法(IPES)
逆光電子分光法(IPES)
評価・解析方法
半導体評価方法
逆光電子分光法(IPES)は、エネルギーのそろった電子Ekを試料に照射し、この電子が空準位に緩和する際の発光hνを観測することで、空準位のエネルギーEbを求める。これにより、空準位の状態密度がわかる。逆光電子分光法(IPES)は光電子分光(PES)の逆過程とみなすことができる。ただし、PESでは電子を取り出すことで試料にプラスの電荷を注入するが、IPESでは試料にマイナス電荷をもつ電子を注入するという違いがある。IPESで観測される空準位の下端が電子輸送にかかわることで重要である。真空準位を基準とする空準位の下端のエネルギーが電子親和力である。
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