酸化物半導体
酸化物半導体
材料
無機半導体材料
酸化物半導体は、半導体の一つで、金属をカチオンとして用いたものが大多数である。多くが広いバンドギャップを有し、可視光域の光を透過する。中には高い電荷担体濃度や移動度を示すものもあり、これらの特徴を用いた様々な用途が考案されている。代表的なものに酸化亜鉛や二酸化スズ、酸化インジウムやITO(通常、In2O3:SnO2 = 90:10 [wt%])がある。多くは電子を電荷担体としたn型であるが、酸化銅や酸化銀、また一酸化スズなどの正孔を電荷担体としたp型も報告されている。代表的な用途として透明伝導膜や超伝導、センサーなどが研究されている。